特点：
Ø 射频发生器：200W，300W，450W，750W。
Ø 自动匹配器：750W单路及三路输出可选。
Ø 自动切换开关：可以实现不同匹配器间的自动切换/不同阴极之间的自动切换，同一阴极直流和射频之间的自动切换。
型号参数表:
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型号及参数
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BDS HF 300AFP
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BDS HF 450AFP
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BDS HF 750AFP
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输出功率
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300 W
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450 W
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750 W
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输入电压
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220 VAC
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工作频率
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13.56 MHz±0.005%
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最大反射功率
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20 %
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通讯接口
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RS232
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冷却方式
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风冷
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匹配器
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750W自动网络阻抗匹配器BDS AMN 750(可选多通道输出)
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