欢迎光临上海镨赢真空科技有限公司 !!   设为首页 | 加入收藏 | 联系我们
上海镨赢真空将参加2020年CIOE!2020-03-20
Gencoa离子源
您现在的位置:首页 > 产品展示 > Gencoa离子源
圆形离子源

IMC圆形离子源

可用于惰性及反应气氛环境下,工作电流可达90mA,工作电压可达3000V。应用领域包括半导体、基板预清洗、离子辅助(ITOAg辅助沉积)、刻蚀/纳米纹理/去涂层、PACVD-DLC沉积及离子束沉积等。

ü  反转磁控离子束                                      

ü  自中和离子束 

ü  较宽的工作压力范围(E-4E-3mbar 

ü  可调整角度

ü  稳定的离子束电流和离子能量分布 

ü  反馈控制 

ü  可工作于多种工作气体 

ü  没有污染 .

HONEYWELL HONEYWELL HONEYWELL HONEYWELL HONEYWELL HONEYWELL
Copyright © 2013 All Rights Reserved 版权所有:上海镨赢真空科技有限公司     技术支持:中国迅网
公司地址:上海市浦东区民冬路166号恒鲁工业园区研发楼7楼     服务热线:021-61062048     lane.bao@www-vacuum.com