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上海镨赢真空将参加2020年CIOE!2020-03-20
Gencoa离子源
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线性离子源

IM条形离子源

ü  便于安装维护,未来使用成本很低        

ü  杜绝了污染问题,可长时间使用

ü  先进的离子能量控制

 ü  高离子能量,输出电压可到2500V

 

型号

等离子长度(mm)

源长度(mm)

法兰长度(mm)

内置型

IM250-I

250

361

 

IM300-I

300

411

 

IM350-I

350

461

 

IM400-I

400

511

 

IM450-I

450

561

 

+50mm

+50mm

+50mm

+50mm

外置型

IM250-E

250

361

440

IM300-E

300

411

490

IM350-E

350

461

540

IM400-E

400

511

590

IM450-E

450

561

640

+50mm

+50mm

+50mm

+50mm

 

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