IM条形离子源
ü 便于安装维护，未来使用成本很低
ü 杜绝了污染问题，可长时间使用
ü 先进的离子能量控制
ü 高离子能量，输出电压可到2500V
型号
等离子长度(mm)
源长度(mm)
法兰长度(mm)
内置型
IM250-I
250
361
IM300-I
300
411
IM350-I
350
461
IM400-I
400
511
IM450-I
450
561
+50mm
外置型
IM250-E
440
IM300-E
490
IM350-E
540
IM400-E
590
IM450-E
640
