产品优点:
• 射频放电（无灯丝）
• 适用各种工艺气体离子束
• 各种线性梁形状
• 易于维护
• 显著改进了安装选项
适用于：
• 蚀刻离子束辅助沉积
• 卷筒纸和辊涂
• 材料研究
• 溅射沉积
产品型号包括：
6cm Source
12cm Source
16cm Source
23cm Source
RF Linear Sources
