Gencoa圆形平面阴极针对不同应用设计了相应的磁场，并且根据客户需求可以提供不同的机械配件。磁场类型包括(常用尺寸为2”, 3”, 4”, 5”, 6”, 8”, 10”, 12”, 14”, 16”)：

ü  标准平衡/非平衡磁场(SW/PP)：2-10英寸

ü  可变平衡度磁场(VT)：2-6英寸

ü  高利用率磁场(HY)：4-10英寸

ü  高均匀性磁场(HU)：6-10英寸

ü  多环静态磁场(MRS)：8-16英寸

ü  全表面刻蚀磁场(FFE)：3-16英寸

ü  磁性材料磁场(MM)：2-16英寸

机械配件包括：

角度调整，气路，射频选项，阳极冷却，手动挡板&气动挡板，防污染，馈通件以及隐藏阳极等

针对市场的要求，Gencoa新近开发了第三代圆形平面阴极(2-5英寸)，主要有如下优点：

ü  尺寸紧凑

ü  可进行45°角度调整

ü  使用标准尺寸靶材

ü  换靶容易

ü  可配置气路选项

ü  DC,RF及HIPIMS都可兼容

ü  4”及5”可配置HY选项

对于光学以及半导体等领域，Gencoa推出了全表面刻蚀FFE圆形平面阴极，具有以下优势：

ü  通过调整转速来获得较高的均匀性

ü  靶材利用率高，可保证>40%

ü  使用时靶面清洁且无缺陷

ü  客制化，可在现有系统上升级改造