
真科(GENCOA)是英国一家专业做阴极和气体控制系统的公司, 尤其擅长磁场的模拟与设计,有丰富的阴极设计经验,其产品已广泛用于工业界和科研界。
ü 最优化的磁场设计,保证最好的靶材利用率和靶面清洁
ü 特殊的零高度差阳极设计,防止工艺过程中发生的短路,并且有效减少颗粒及缺陷的产生
ü 针对不同工艺和靶材专门设计不同磁场
ü 每只阴极都采用RF标准的绝缘配置,保证在大功率条件下的电气特性稳定
ü 采用集成阳极的设计,阳极罩上集成气路,保证最好的均匀性
ü 采用高效的间接冷却方式,不仅保证可以大功率下使用,并且在换靶时不用破坏水密封和真空密封,减少换靶所用的时间,并且采用快捷接头,方便可靠
ü 磁条没有水接触,可保证10年的使用期
ü 靶材卡箍采用M8螺丝,不采用螺套嵌入主体,保证坚固及使用可靠性
ü 采用2通道进水和出水,保证高效冷却
ü 快速回应,2D和3D图纸可以在Gencoa网站上下载
ü 多环节的质量检查控制,制造过程符合ISO9000标准
矩形平面阴极标准产品分类:
磁场类型
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特点
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靶材利用率
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应用
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SW
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标准平衡磁场
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25-30%
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单跑道普通溅射
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PP
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标准非平衡磁场
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25-30%
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单跑道非平衡溅射,可用于离子辅助沉积
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HY
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高利用率磁场
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40-50%
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多阵列磁铁设计,提高靶材利用率
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VT
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平衡及非平衡可变磁场
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25-40%
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研发领域调整磁场平衡度
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FFE
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全表面刻蚀磁场
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40-60%
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全表面刻蚀保持靶材表面清洁和减少缺陷
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LP
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磁性靶材专用磁场
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25-40%
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溅射Fe、Co、Ni等磁性靶材
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HS
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高磁场强度磁场
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25-30%
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用于低气压、低溅射电压的磁场设计,如ITO
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RF
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射频专用磁场
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25-30%
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针对射频设计的低磁场强度设计
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MZ
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厚靶专用磁场
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50-60%
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厚靶金属用磁场设计
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AS
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孪生双阴极磁场
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见上
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反应溅射用
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标准阴极宽度:40mm,50mm,65mm,75mm,89mm,100mm,125mm,150mm,200mm,250mm,300mm
标准阴极长度:50mm递增,可定制长度,但是费用会增加
对于客户现有其他品牌阴极,Gencoa可提供针对性的升级改造服务,提升阴极性能