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旋转阴极
Gencoa开发的GRS旋转阴极不同于市场上现有产品，采用小管径的磁管，尺寸非常紧凑，非常适用于现有平面阴极的升级改造。Gencoa同时也提供常规靶管的旋转阴极
ü 最佳的磁场设计，溅射角度小，保证最佳的靶材利用率及靶面清洁度
ü GRS-V磁条可手动旋转，也可通过步进电机进行角度旋转
ü 针对不同的应用，设计平衡或者非平衡磁场等各种不同磁场
ü 独特的端头密封设计，至少5年的免维护，漏率1-5 x 10-9 mbar l/s
ü 辅助阳极设计，稳定工艺过程，增强对等离子体的控制
ü 端头可承受高电流(GRS-C可达250A)
ü 集成气路控制均匀性，对反应溅射非常适用
ü 狗骨头式靶材利用率>85%，普通靶材>70%利用率
ü 快速换靶设计，可使用粘接或台阶靶材
ü 高冷却水流量对靶材直接冷却，冷却效果好
ü 现场工艺支持与调试服务
   
尺寸紧凑的端头 辅助阳极 等离子体形貌 静态阵列镀膜
旋转阴极配置情况及主要技术参数：
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安装类型
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GRS紧凑型
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GRS-C悬臂安装
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GRS-M内置式
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GRS-V顶部安装
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靶材外径
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75,90,100/105mm
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75,90,105,152-165mm
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75,90,105,152-165mm
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75,100/105,152mm
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靶材长度
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≤1.2m
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纯悬臂0.7-1.5m
带外端支撑可到2.4m
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垂直向上≤1.8m
水平带支撑≤2.5m
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垂直≤1.5m
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电源功率
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40KW
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180KW
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60KW
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80KW
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电源类型
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AC,DC,HIPIMS,Arc,RF+DC
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法兰盘
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单靶,双靶,客户定制
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驱动电机
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无,恒交流,交流变频,西门子伺服电机,定制伺服电机,伺服变频电机
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靶材
类型
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喷涂靶材
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AZO,Ag,Al,Al合金,Cr,Cu合金,ITO,Si,SiAl,Sn,Ti合金,Zn,Zn合金
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粘接靶材
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Ag,Cr,ITO,NiCr,SiAl,Sn,Ti合金,Zn合金
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台阶靶材
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Al,Al合金,Cu合金,Nb,NiCr,SS,Ti
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主要
磁场
类型
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标准
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采用平衡磁场，靶材表面磁场强度约550Gauss
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非平衡
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可用于高品质的装饰镀和硬质膜
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DLIM-AC
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用于反应溅射，克服阳极消失，可降低打火，降低基板加热效应并且改善镀膜的均匀性
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DLIM-DC
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通过附加活动阳极，减少对成膜的损坏，适用于ITO成膜以及卷绕镀膜。使用直流脉冲电源可长期稳定工作，降低成本
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高磁场强度
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用于低压强环境；低电压溅射比如陶瓷ITO靶材，可降低电阻率；用于溅射磁性材料靶材
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HIPIMS
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提供最佳的磁场适用于HIPIMS应用，优化溅射速率
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多弧源
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高电压低电流放电，提高靶材寿命
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CVD
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基于靶面的自清洁和长期稳定运行，非常适用于CVD
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