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上海镨赢真空科技有限公司将于11 月 28-30 日参加广东省真空学会学术年会2024-11-22
韩国 PLASOURCE电源
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PLASOURSE射频电源

 特点:

Ø  功率范围300w1000w

Ø  操作界面方便,维护成本低。

Ø  适用于中小型研发和中试产线。

Ø  可应用于表面处理、半导体制造和研发等领域。

Ø  极具竞争力的价格。

 型号参数表:

 

型号及参数

iGen1303N-R1

iGen1306N-R1

iGen1310N-R1

输出功率

300W

600W

1000W

输入电压

240VAC,50-60[Hz]

工作频率

13.56MHz

最大反射功率

Within 3% of forward power

通讯接口

RS232 (DUB-9Pin-female) 19,200bps

冷却方式

风冷

匹配器

iMat1330L-0304-S

iMat1330L-C304-S(抗干扰,带 Filter)

 

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