11月23日—25日，第七届粤港澳真空科技创新发展论坛暨2023年广东省真空学会学术年会在广东中山隆重举办。上海镨赢真空受邀出席，并在展会上介绍了一种hipims+RF的新型溅射方式及CCR ICP离子源在后氧化工艺中的优势
广东真空学会报告2023.pdf
