今天将给大家介绍一下适用于超高真空领域的磁控溅射阴极。

此类磁控阴极由德国TFG公司制造。该公司于1993年成立于德国格拉芬伯格.

TFG公司自1995年起开始设计磁控溅射阴极，至今已拥有二十年磁控溅射阴极设计经验，其产品主要应用于工业和研究领域。

TFG公司的磁控溅射阴极产品在我国超高真空领域已广泛应用并获得了许多好评。

据不完全统计，目前已有超百余台超高真空磁控阴极在我国生产和研究领域投入使用。

接下来将带大家深入了解一下该产品的独特优势及其尺寸规格。

1、使用全金属密封，无橡胶件。

2、磁铁最高可耐受200℃的温度烘烤。

3、本底真空可以抽到1*10-7Pa以下。

4、可选配角度调节，靶基距调节，气动挡板等配件。

5、支持靶基距、溅射角度在线调节。

6、可以在6*10-2Pa的压力下下正常工作。

圆形磁控溅射阴极：适用靶材1英寸到12英寸。

超高真空圆形阴极：适用靶材1英寸到8英寸。

矩形磁控溅射阴极：靶材宽度可选2英寸，3.5英寸，4英寸，5英寸，6英寸，8英寸。最长可达2米。

以上就是适用于超高真空领域的磁控溅射阴极的简要介绍。